题目内容
(请给出正确答案)
[单选题]
还原退火炉内,保护气体H2<£¯sub>浓度越高,则基板表面氧化膜被还原的速度()。
A.越快
B.越慢
C.无变化
答案
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A.越快
B.越慢
C.无变化
第7题
A.95-70%N2+5-30%H2
B.90-70%N2+10-30%H2
C.95-65%N2+5-35%H2
D.95-65%N2+5-35%H2